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德國英福康INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀，是一款殘余氣體分析儀，用于一般真空應(yīng)用。

德國英福康INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品簡介：

INFICON, RGA為您提供標(biāo)準(zhǔn)的和高性能的殘余氣體分析儀來滿足您真空應(yīng)用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工業(yè)的數(shù)據(jù)收集速率, *小的可檢分壓(MDPP) 和訊噪比. 加上低的總體擁有成本和高的平均無故障時間(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 幫助您的收益底線遠超過市場上其它RGA系列產(chǎn)品.

1、TRANSPECTOR MPS–氣體分析的標(biāo)準(zhǔn)

Transpector MPS 設(shè)計用于要求具有驗證的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空應(yīng)用中的 RGA 分析. 質(zhì)量范圍100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供標(biāo)準(zhǔn)的監(jiān)測性能. RGA 的標(biāo)準(zhǔn)裝備是法拉第杯檢測器,當(dāng)需要監(jiān)測低濃度氣體時, 可選用電子倍增器檢測器.

2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的應(yīng)用

Transpector MPH 設(shè)計用于要求 RGA 具有*高監(jiān)測性能的應(yīng)用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三種不同的質(zhì)量范圍, 具有工業(yè)上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可裝備法拉第杯或電子倍增器檢測器, 以及提供可選的校準(zhǔn)氣體, 用于簡易和RGA 質(zhì)量標(biāo)度自動調(diào)諧的校準(zhǔn)參考.

3、傳感器設(shè)計用于工業(yè)的MBTF和低的總體擁有成本

綜合地采納客戶的反饋和深入的市場分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的離子源. 新型離子源在陽及, 陰及和反射及的組裝件中包含兩根燈絲. 帶有備用燈絲的雙燈絲結(jié)構(gòu)可延長 RGA 的運行周期和避免出現(xiàn)意外的系統(tǒng)停機故障. Transpector MPH 還提供特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢燈絲用于含鹵素的過程中或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程中) 確保過程本身不會影響燈絲的使用壽命.

在一般真空應(yīng)用中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的銥燈絲.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件等同于傳統(tǒng) RGAs 中更換整個離子源. 成本的節(jié)約將大大地降低這兩種 RGAs 的總體擁有成本.

新型傳感器結(jié)構(gòu)提供更多的優(yōu)越性, 可現(xiàn)場更換電子倍增器 (如裝備). 您可在定期的維護周期中快速地現(xiàn)場更換 EM. 新型倍增器已發(fā)展為具有更長使用壽命, 提供更高的法拉第杯(FC) 靈敏度和更強的增益.

4、可定標(biāo)的通訊方法用于現(xiàn)代化的制造*心

Transpector MPS 和 MPH 采用以太網(wǎng)作為 RGA 與計算機之間默認(rèn)的通訊手段. 對于單傳感器運行, 可將傳感器連接至現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或直接連接任何計算機上的以太網(wǎng)端口. 采用現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或用可選的路由器或以太網(wǎng)開關(guān), 可實行多傳感器運行.

5、滿足您需要的軟件

Transpector MPH 與得獎的 FabGuard 程序套件是完全兼容的, 包括與 FabGuard 工藝集成監(jiān)測軟件和FabGuard Explorer 檢測軟件.

為易于運行, Transpector MPS 設(shè)計于使用FabGuard Explorer 軟件. 兩種 RGAs 均配備機載的網(wǎng)頁服務(wù)器,它允許從連接網(wǎng)絡(luò)的任何設(shè)備, 無軟件運行您的 Transpector MPS 或 MPH. 這個網(wǎng)頁服務(wù)器不僅是可查閱標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的單個程序. 而是允許用于您預(yù)期的全部手動數(shù)據(jù)查閱技術(shù), 包含檢漏和傳感器調(diào)諧等標(biāo)準(zhǔn)維護功能的網(wǎng)頁服務(wù)器.

德國英福康INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品特點：

超快的數(shù)據(jù)收集

校準(zhǔn)參考

TCP/IP 以太網(wǎng)連接性

雙燈絲

可現(xiàn)場更換電子倍增器

組合的陽及,陰及和反射及, 燈絲套件

可更換的傳感器和電子學(xué)

RoHS符合性

德國英福康INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀應(yīng)用領(lǐng)域：

1、真空爐

真空爐有不同的形狀和大小. 不管它們的用途如何, 均易于污染和出現(xiàn)漏泄. INFICON Transpector MPS 和 MPH 設(shè)計于防護這些不可避免的問題. 為確定是否存在空氣漏泄,可采用Transpector MPS 或 MPH RGA 掃描, 檢測系統(tǒng)中的氣體狀態(tài)搜索是否存在 (氮和氧的比例為 4:1)的空氣, 使用內(nèi)置的檢漏檢查功能可將 RGA 轉(zhuǎn)變成為一臺就地氦檢漏儀. 可編程 FabGuard 傳感器控制器, 當(dāng)出現(xiàn)空氣漏孔時, 即發(fā)出報警.

使用 Transpector MPH 檢測空氣漏孔的出現(xiàn), 并通過報警, 觸發(fā)訊號(數(shù)字輸出或繼電器)或發(fā)出電子郵件自動通知用戶.Transpector MPS 或 MPH 還可顯示來自泵的返流或不清潔部件的污染.

2、真空鍍膜

不管 PVD 過程的類型(EB-PVD, IB-PVD, 標(biāo)準(zhǔn) PVD),與其它監(jiān)測方法不同的是, INFICON TranspectorMPS 和 MPH 將為您提供系統(tǒng)的監(jiān)測情況. 無論是監(jiān)測過程室中的空氣漏孔還是氣體管道中的污染,Transpector MPS 和 MPH 均可提供手動或自動化的檢測結(jié)果

當(dāng)需要查明為什么您的過程室未能抽空至它的本底真空值時,采用 FabGuard 中的內(nèi)置真空診斷,Transpector MPS 或 MPH 將自動鑒別存在于系統(tǒng)中的氣體種類.

3、熱處理

任何低壓強熱處理應(yīng)用均可得益于 Transpector MPS 或 MPH 的使用. 如擔(dān)心是否存在一種特殊的氣體將與金屬產(chǎn)生相互作用時,Transpector MPS 或 MPH 可監(jiān)測它的質(zhì)量數(shù), 并顯示其存在和相對的量值. Transpector MPS 或 MPH 還可用于在本底壓強下的實時檢漏監(jiān)測或手動檢漏檢查.

我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

德國英福康INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù)：

	MPS100F	MPS100M	MPS200F	MPS200M	MPH100F	MPH100M	MPH200F	MPH200M	MPH300F	MPH300M
傳感器長度(真空側(cè))	14.3厘米(5.63 吋)	19.3厘米(7.83 吋)	14.3厘米(5.63 吋)	19.3厘米(7.83 吋)	14.3厘米(5.63 吋)	19.3厘米(7.83 吋)	14.3厘米(5.63 吋)	19.3厘米(7.83 吋)	14.3厘米(5.63 吋)	19.3厘米(7.83 吋)
質(zhì)量范圍	1至100amu		1至200amu		1至100amu		1至200amu		1至300amu
檢測器類型	FC	EM/FC	FC	EM/FC	FC	EM/FC	FC	EM/FC	FC	EM/FC
燈絲類型	雙 Y2O3/Ir 燈絲				雙Y2O3/Ir(一般應(yīng)用)或鎢(用于鹵素環(huán)境的應(yīng)用)燈絲
分辨率(按1993 AVS的方法)	<1amu 寬度 @ 10% 峰高處,包括整個質(zhì)量范圍
溫度系數(shù)(在8小時周期內(nèi), 半小時升溫后)	<1%峰高/°C(僅 FC)
靈敏度–安/乇 FC	3x10-4(2.3x10-4 )				6x10-4(4.5x10-4)		5x10-4(3.8x10-4)		4x10-4(3x10-4)
*大數(shù)據(jù)率(模擬掃描或選定的峰)	3毫秒/點				1.8毫秒/點
零沖擊波干擾在 M2 處	<100ppm				<5ppm		<65ppm		<100ppm
總壓強測量范圍,乇 (毫巴) **	2x10-7 –5x10-4 (2.7x10-7 –6.7x10-4 )
*大工作壓強– 乇 (毫巴)	5x10-4 (6.7x10-4 )
*大烘烤溫度(電子學(xué)卸除)	300°C
*大傳感器FC 工作溫度EM	200°C N/A	200°C 150°C	200°C N/A	200°C 150°C	200°C N/A	200°C 150°C	200°C N/A	200°C 150°C	200°C N/A	200°C 150°C
電源輸入	20-30 伏(直流),30 瓦*大–典型值 24 伏(直流)1.25 安*大
以太網(wǎng)通訊接口	標(biāo)準(zhǔn): CAT5e 以太網(wǎng)電纜連接
可選校準(zhǔn)參考	無				氬用于EM校準(zhǔn)或測試混合物用于調(diào)諧
繼電器輸出	一個繼電器, 24 伏在 0.5 毫安
輸入	一個模擬輸入, 兩個數(shù)字輸入
LED 指示燈 (綠色)	一個用于指示電源狀態(tài), 一個用于指示發(fā)射狀態(tài)

*用一個基線噪聲的標(biāo)準(zhǔn)偏差除以氮的靈敏度計算的.

**與分壓強測量無關(guān),用于連續(xù)的燈絲保護和分析.