美國(guó)ALICAT  MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

MCE系列設(shè)計(jì)用于取代老化陳舊或性能不佳的熱式流量控制器。設(shè)備結(jié)構(gòu)、安裝模式、功能等無(wú)任何差異，方便用戶(hù)快速、簡(jiǎn)易地進(jìn)行替換，并可定制引腳分配使之與用戶(hù)端的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，很大量程：0-20 slpm，另有316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列(MCES)可選。

Alicat 的 MCE 系列流量控制器可精控制過(guò)程氣 體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力，功能與匹配性與其它品牌無(wú) 異，依照 SEMI 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，將后置式高速比例控制閥置于流量 本體內(nèi)。

美國(guó)ALICAT  MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

設(shè)計(jì)用于高真空應(yīng)用的MCV系列是在上述MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一集成式氣動(dòng)截止閥，有效杜絕設(shè)定值為零時(shí)氣體進(jìn)入真空腔體，很大量程：0-20 slpm，另有316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列(MCVS)可選。

Alicat 的 MCV 系列流量控制器適用于高真空應(yīng)用， 在 MCE 后增加一個(gè)集成式正向切斷閥，其氦氣泄漏率僅為 1x10-9 atm-scc/s，有效地杜絕了污染物進(jìn)入。

Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器采用專(zhuān)有的內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體 仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶(hù)標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行 修正。

Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器帶有集成式多功能數(shù)字顯示屏，用戶(hù)僅通過(guò)屏幕按鈕操作便可控 制設(shè)定值及 PID 閥門(mén)調(diào)節(jié)。很高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%的重復(fù)性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間很大程度 優(yōu)化了氣體控制過(guò)程，同時(shí)開(kāi)放模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式。另有各類(lèi)定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目需求， 如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類(lèi) 2 區(qū)和 CSA(美國(guó))1 類(lèi) 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。

美國(guó)ALICAT  MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品應(yīng)用：

Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器(真空型) 廣泛應(yīng)用于須遵守 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用，如：半導(dǎo)體、真 空鍍膜等。MCE 系列質(zhì)量流量控制器尤其適用于低真空應(yīng)用，MCV 系列則適用高真空。多變量測(cè)量與控 制、多種氣體標(biāo)定以及 200:1 量程可調(diào)比使得僅用一臺(tái) Alicat 質(zhì)量流量控制器便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。

MCE & MCV 質(zhì)量流量控制器(真空型)可測(cè)量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-20 slpm 的滿(mǎn)量程的任何流量。

美國(guó)ALICAT  MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)參數(shù)：

0 – 0.5 sccm 滿(mǎn)量程到 0 – 20 slpm 滿(mǎn)量程

艾里卡特?MCV 系列 質(zhì)量流量控制器專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于要求嚴(yán)密切斷的應(yīng)用，例如真空鍍膜、噴 鍍工藝，其集成式氣動(dòng)切斷閥可提供氦氣泄漏率僅為 1 x 10 -9 atm scc/sec 的正向切斷 MCVS 系列適用于腐蝕性氣體。

精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)： ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)：±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)滿(mǎn)量程 5SCCM 以下設(shè)備無(wú)高精度

重復(fù)性： ±0.2% F.S

零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移： 0.02% F.S / oC / Atm

工作范圍 / 量程可調(diào)比：MCV 系列質(zhì)量流量控制器 0.5% ～ 100 F.S / 200:1 ；MCVS 系列質(zhì)量流量控制器 1% ～ 100 F.S / 100:1

很大可控流量： 102.4% F.S

典型響應(yīng)時(shí)間： 100 毫秒(可調(diào)整)

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間： < 1 秒

閥門(mén)泄漏率： 不超過(guò) 1 x 10-9 atm scc/sec (氦檢)

標(biāo)準(zhǔn)工況： (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)

工作溫度： ?10 ~ +50 oC

工作濕度范圍 (非冷凝) ：0 ～ 100

內(nèi)部很大工作壓力(靜壓)： 145 psig

很限壓力： 175 psig

對(duì)安裝方式/方向的要求： 無(wú)

閥門(mén)狀態(tài)： 閥門(mén)常閉

防護(hù)等級(jí) ：IP40

材質(zhì) ：CV: 316L,303 & 302 不銹鋼, Viton?, 硅膠 RTV (橡膠), 玻璃增強(qiáng)尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻 璃, PCTFE。

          MCVS: 標(biāo)準(zhǔn)采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據(jù)特殊氣體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene。